工作原理
ao910系列扩散硅压力传感器系全部采用进口芯片,经过精心的结构设计,信号处理和组装,并按照国家标准和企业标准,进行测试而生产出来的新一代测量元件。基本原理是利用半导体的压阻效应和微机械加工技术,在单晶硅片的特定晶向上,用光刻、扩散等半导体工艺制做一惠斯登电桥,形成敏感膜片,当受到外力作用时产生微应变,电阻率发生变化,使桥臂电阻发生变化(一对变大一对变小)在激励电压信号输出,经过计算机温度补偿、激光调阻、信号放大等处理手段和严格的装配检测、标定等工艺,生产出具有标准输出信号的压力变送器。
特点
※ 输出稳定灵敏度高
一般应变式传感器输出仅为10mv左右,而扩散硅传感器满量程输出为100mv左右,干扰及噪声等因素影响相对较小,放大电路成本也相应降低,分辨率大大提高。零压力附近无死区。
※ 精度高,重复性好
扩散硅压阻式压力传感器实现了压力受感,压力传递力一电转换由同一元件上实现,无中间转换环节,无压力滞后,无机械位移变形,保证了极小的重复性和迟滞误差,和良好的线性度,无蠕变、稳定、可靠、寿命长。
※ 良好的温度特性
由于采用了激光调阻,计算机补偿等技术和巧妙控制扩散浓度,实现满量程温度漂移(灵敏度温度系数)自补偿。克服了半导体晶片本身温度系数大的缺陷,使变送器的零位和满度温漂达到了较高的水准,拓宽了使用温区。
※ 适合于危险易爆的领域和场所应用
扩散硅压力传感器,变送器具有低电流,低电压,低功耗的特点,属于本质安全防爆型产品,并已取得了国家安全防爆机构颁发的防爆证书。
详细介绍
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